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咨询大家半导体硅片制造流程中需要大量的清洗环节

2025-8-1
咨询大家半导体硅片制造流程中需要大量的清洗环节
包括成膜前清洗、成膜后清洗、等离子体刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后清洗和金属沉积后清洗。单片式清洗设备可以兼容除高温磷酸工艺外的所有清洗工艺。