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怎样理解工艺步骤增加带来清洗步骤增长

2025-8-1
怎样理解工艺步骤增加带来清洗步骤增长
技术变革一:FinFET、GAA、CFET 等先进制程逻辑。先进技术节点流程更加复杂,对清洗次数要求更高,推动了清洗设备的需求。