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如何才能为何在高端市场基板如此重要?

2025-8-2
如何才能为何在高端市场基板如此重要?
为何在高端市场基板如此重要?➢ 为了制备多层结构,通常需要在完成首层光刻、电镀、去膜后进行ABF层压->激光钻孔->去钻污->化学镀薄铜->压膜->光刻->电镀铜->去膜->薄铜蚀刻,重复多次工艺实现多层结构(build-up)。➢ 图表:制备多层基板工艺步骤1、CCL - 铜箔层压板2、机械钻孔3、化学镀铜/沉积铜4、干膜(光刻胶)压种子层膜5、光刻6.电镀铜7.去膜8.薄铜蚀刻(详见mSap)9. ABF层压10.激光钻孔10.去钻污11.化学镀薄铜增层开始(9)循环9-17制备多层layer13、干膜(光刻胶)压膜(重复步骤4)14、光刻(重复步骤5)15、电镀铜(重复步骤6)16、去膜(重复步骤7)17、薄铜蚀刻(重复步骤8)循环增层 - 构建外层线路与多层堆叠数据来源:Semiconductor Engineering, 金元证券研究所