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谁知道玻璃衬底的 CTE 是影响晶圆翘曲程度的关键因素

2025-12-3
谁知道玻璃衬底的 CTE 是影响晶圆翘曲程度的关键因素
通过选择合适的衬底材料可有效减少因 CTE 失配导致的翘曲,例如使用与硅片 CTE 更接近的玻璃载板。据李硕等临时键合工艺中晶圆翘曲研究数据,对晶圆翘曲程度影响最