> 数据图表谁知道玻璃衬底的 CTE 是影响晶圆翘曲程度的关键因素2025-12-3通过选择合适的衬底材料可有效减少因 CTE 失配导致的翘曲,例如使用与硅片 CTE 更接近的玻璃载板。据李硕等临时键合工艺中晶圆翘曲研究数据,对晶圆翘曲程度影响最华源证券工业制造