如何才能玻璃作为晶圆材料的优势在微系统技术领域尤为明显，在多类场景广泛应用

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2025-12-3

石英玻璃对于半导体制造中的高精度激光工艺至关重要，可用于光刻系统中的光学玻璃部件等等超低 CTE 玻璃用于光刻掩膜板等等。戈碧迦联合熠铎科技推动研发，未来有望进行持