> 数据图表你知道不同环节使用的电子特种气体种类均有所差异2025-12-4同的电子特气，以化学气相沉积环节为例，需要使用的电子特气超过十余种，相较大宗气体，对气体厂商提出了更高的制造要求。东吴证券工业制造
