技术路线上,DRAM 将逐步走向 3D 架构,4F为 3D DRAM 一大技术方向,目前海外大厂已在布局。在约 2000-2010 年 DRAM 主流结构为 8F,即 word line 间距为 4F,bit line 间距为 2F,目前 DRAM 行业主流技术已从 8F切换至 6F,6F通过旋转并偏移晶体管以填充8F布局中存在的空白空间,而下一代将进一步向 4F迭代,通过垂直堆叠方式进一步提高空间利用率,以增大单位面积位元容量,三星下一代 VCT 架构将采用 4F技术,采用垂直结构从下到上依次放置源极、栅极、漏极和电容,并将 word line 和 bit line 分别连接到栅极和源极,从而 word line 和 bit line 的间距各为 2F,形成 4F结构。