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咨询下各位2.2 CoWoS技术优势凸出:实现多芯片封装、高密度互连

2025-12-2
咨询下各位2.2 CoWoS技术优势凸出:实现多芯片封装、高密度互连
2.2 CoWoS技术优势凸出:实现多芯片封装、高密度互连n CoWoS通过Si Interposer进行互联,实现多芯片封装、高密度互连和功耗优化。2011年,台积电认为摩尔定律开始面临困境,因此决定在先进封装领域寻求突破。2012年,台积电与赛灵思合作推出Virtex-7 HT系列FPGA,采用的工艺是CoWoS(Chip-on-Wafer-on-Substrate)。CoWoS是一种2.5D封装技术,先将芯片(如处理器、存储器等)通过Chip on Wafer(CoW)的工艺与硅转接板连接,然后将CoW芯片与基板(Substrate)连接,形成CoWoS结构,加入硅转接板是因为基板的最小线宽较大,用硅转接板在中间做过渡,可以缩小线宽,进行高密度I/O的互连。CoWoS技术采用了TSV、μBump和RDL技术,该封装方法使得多颗芯片可被集成在一起,制造出体积小、功耗低、高密度互连的封装。图表:CoWoS结构示意图图表:转接板的典型结构硅转接板缩小了pitchCoWoS(Chip-on-Wafer-on-substrate)来源:芯爵ChipLord,《高性能硅转接板的系统设计及集成制造方法研究》,中泰证券研究所43