> 数据图表如何才能蔡司主要 EUV 光学部件2025-12-2（PV 值）及表面光洁度等核心指标上，国产技术距离蔡司的 EUV 级水准仍有显著差距。超精密光学部件的国产化任重而道远，极高的技术壁垒也意味着巨大的追赶空间。东吴证券科技传媒
