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如何了解2.1.2 多芯片集成突破,互联技术驱动2.5D/3D/Chiplet革新

2025-11-2
如何了解2.1.2 多芯片集成突破,互联技术驱动2.5D/3D/Chiplet革新
2.1.2 多芯片集成突破,互联技术驱动2.5D/3D/Chiplet革新 先进封装核心互联技术——重布线层(RDL):提升引脚数量和信号灵活性的核心环节•RDL的全称是(ReDistribution Layer)重布线层,RDL重布线层作为晶圆级封装中的核心技术,起着XY平面电气延伸和互联的作用。RDL是将原来设计的芯片线路接点位置(I/O pad),通过晶圆级金属布线制程和凸块制程改变其接点位置,使芯片能适用于不同的封装形式,如晶圆级封装(WLP)、2.5D/3D集成等。 晶圆级封装:Fan-in WLP中,在芯片表面重新布置I/O焊盘位置,将细间距的芯片焊盘“扇出”到更适合焊接的、间距更大的焊球阵列位置;Fan-outWLP中,RDL可以向外延伸布线,封装的面积大于晶粒的面积,I/O引脚数可以更多,引脚间距也宽松。 2.5D/3D集成:当前主流2.5D封装中,多种技术方案均围绕中介层展开(如CoWoS/EMIB);在3D封装中,使用TSV+RDL结构。 Chiplet异构集成:RDL用于连接不同制程的Chiplet(如GPU、HBM)。重布线技术工艺图资料来源:《Redistribution layers (RDLs) for 2.5D/3D IC integration》John H Lau等,半导体封测与测试技术应用,逍遥设计自动化,半导体产业纵横,鲜枣课堂,微纳研究院,明阳电路,平安证券研究所14