> 数据图表一起讨论下半导体零部件厂商梳理2025-12-2零部件方面，随着设备厂商的技术能力和规模体量快速提升，更上游的零部件环节的国产替代也在持续有序推进。部分细分品类已有优质厂商实现较好突破、占据可观份额，如机械类中的工艺件、结构件、腔体等部分品类实现一定国产化突破，但工艺覆盖度和国产化率仍有较大提升空间，如射频电源、陶瓷加热器等还有部分品类仍亟待大规模量产突破，包括静电卡盘、仪器仪表类等。东方财富证券工业制造
