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谁知道DISCO 隐形切割对应机种

2026-3-0
谁知道DISCO 隐形切割对应机种
隐形切割是将激光聚光于工件内部,在工件内部形成改质层,通过扩展胶膜等方法将工件分割成芯粒的切割方法。优点:由于工件内部改质,因此可以抑制加工屑的产生。适用于抗污垢性能差的工件和抗负荷能力差的工件(如超薄硅晶圆、MEMS 器件等),且采用干式加工工艺,无需清洗可以减小切割道宽度,因此有助于减小芯粒间隔。