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你知道刀片切割激光切割等离子切割对比

2026-3-0
你知道刀片切割激光切割等离子切割对比
随着晶圆的厚度从 100m 到 50m、再到 30m、不断变薄,获得独立芯粒的切割方法也从“掰开(breaking)”、“刀片”切割,到激光切割,再到等离子切割,不断变化发展着。日趋成熟的切割方法,虽然带来了切割工艺本身生产成本的增加,但另一方面,通过大幅减少半导体芯粒切割中经常出现的剥落、裂纹等不良现象和单位晶圆上芯片获得量的增多,单个芯片的生产成本反而却呈现出下降趋势。当然,晶圆单位面积芯片获得量的增加,与划片槽(Dicing Street 宽度)宽度的缩小有着密切的关系。