> 数据图表请问一下中微公司Primo Domingo设备2026-3-0制，为刻蚀工艺提供精准保障。设备内部采用了高抗腐蚀管路与特殊涂层材料以应对工艺所需的高活性刻蚀气体，保障设备长期可靠运行。此外，Primo Domingo配备了双制冷双加热晶圆基座，支持宽范围精准温控，显著提升了刻蚀工艺的均匀性与稳定性。Primo Domingo同样搭载中微公司量产的 Primo C6V3 传输系统，可灵活搭配主刻蚀腔和辅助退火腔，满足不同刻蚀应用的需求。国盛证券综合其他
