如何了解中微公司产品家族

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2026-3-2

中微公司中微公司在先进封装领域，尤其是涵盖 HBM 工艺的相关制程设备方面已全面布局，产品包括刻蚀、CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）及晶圆量测检测设备，且公司已正式发布了 CCP 刻蚀系统以及 TSV 深硅通孔设备。