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谁能回答. 标准 6F2 布局与采用垂直通道晶体管的 4F2 布局

2026-1-5
谁能回答.  标准 6F2 布局与采用垂直通道晶体管的 4F2 布局
DRAM 自 2007 年以来普遍采用 6F单元布局,更早的制程则使用 8F。作为对比,现代 NAND 闪存已实现 4F单元,但其特征尺寸 F 远大于 DRAM而 SRAM 单元面积高达约 120F,密度较 DRAM低约 20 倍。从几何结构上看,4F代表单个存储单元的理论极限面积。这是因为特征尺寸 F 定义为线宽或间距,因此“线-间距”重复单元的节距为 2F,而非 F。由此推导,单元在二维方向上的最小可实现尺寸为 2F2F,即 4F。