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如何才能晶圆可在康宁玻璃载板上减薄至 5 微米以下

2026-6-1
如何才能晶圆可在康宁玻璃载板上减薄至 5 微米以下
圆找个高度稳定的承载体,加工完之后再分开。解键合技术主要包括机械剥离法、湿化学浸泡法、热滑移法和激光解键合法。