请问一下戈碧迦零膨胀微晶玻璃有望推动国产替代

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2026-6-1

的具有高数值孔径High NA的 EUV 技术。康宁 ULE 7972 超低膨胀玻璃的热膨胀系数CTE在室温下标称值为零。与之类似的是肖特零度系列的低热膨胀微晶玻璃，同样用于光刻机等