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如何才能下一代芯片基板为玻璃基板

2026-6-2
如何才能下一代芯片基板为玻璃基板
高性能计算对芯片间互联密度的要求不断攀升,下一代芯片基板为玻璃基板。随着 AI 加速芯片、高性能计算对芯片间互联密度的要求不断攀升,传统的有机基板已难以满足 10m 以下线宽、低损耗、高平整度的需求。硅中介层虽然性能优越,但 12 英寸硅转接板成本高昂,且存在高频损耗问题。玻璃基板以玻璃材料替代传统封装基板所使用的有机芯材,具备更强的耐热性与更低的翘曲度,可支持更大尺寸基板与更精细的互联结构。 (1)玻璃本身是绝缘体,无需像硅那样在通孔侧壁沉积绝缘层,可省去PECVD 等复杂步骤(2)可做大面积方板:玻璃能够轻松扩展到 510mm515mm 甚至更大尺寸,而 12英寸硅片面积仅约 7.29 平方英寸(3)优异的电学性能:玻璃的介电损耗远低于硅,在高频、射频场景下表现突出(4)光电集成潜力:玻璃对光透明,便于与光波导结合,是光电合封(CPO)的理想基材。