我想了解一下光刻工艺的基本原理

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我想了解一下光刻工艺的基本原理

2024-4-2

我想了解一下光刻工艺的基本原理

化学反应，经烘烤和显影后在光刻胶上达到转移图形的目的。这些图形作为阻挡层，用于实现后续的刻蚀和离子注入工艺的制程工序。

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