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你知道不同精度的光刻机对光刻胶品类要求不同

2024-4-2
你知道不同精度的光刻机对光刻胶品类要求不同
光刻胶品类可根据配套使用的光刻胶划分。光刻机按照不同加工工艺节点可分为 gI 线、KrF、ArF、ArFi 和 EUV,分别对应不同的加工精度。光刻胶可根据配套使用的光刻机类型