> 数据图表如何了解半导体光刻胶国产化情况及代表公司2024-4-2用光刻胶的国产化已取得较大进展,在 gI 线和 KrF 光刻胶中已能实现一定替代,而 ArF 光刻胶正在加快研发进程。源达信息综合其他