> 数据图表想问下各位网友真空环境是半导体制程的必备工况2024-1-4范围 10-3-10-9Pa）通常包括涡轮分子泵或冷凝泵，在对真空度要求高（10-3Pa 以上）的严苛制程中常使用干式真空泵涡轮分子泵的组合。源达信息科技传媒
