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想问下各位网友公司的中真空度干式真空泵系列产品已基本可覆盖半导体的干净中严苛严苛制程

2024-1-4
想问下各位网友公司的中真空度干式真空泵系列产品已基本可覆盖半导体的干净中严苛严苛制程
目前公司已有能满足半导体最先进工艺的中真空干式真空泵产品 PMFiPMiPH 三大系列,并已通过 SEMI 安全基准验证证书。