> 数据图表一起讨论下半导体制造过程中废水种类2026-6-6冷却塔系统排水直接排入市政管网或回收，废气洗涤塔排水进入含氟系统，超纯水经过清洗、湿式刻蚀、研磨等工序，耗用了全厂 80%以上的纯净水，产生了大量的各种废水。由此，废水回收与处理成为集成电路节约成本、降低能耗的重要方式。而生产流程中产生的污染物浓度含量较高的用水，包含氟化物、氨氮、酸碱、有机等多种成分的废水、废液，通常直接排向废水处理系统以进行专业化处置。信达证券综合其他
