你知道HPHT 与 CVD 生产工艺对比

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2026-6-0

刚石材料，尤其适用于大面积的散热片和金刚石晶圆CVD 法主要包括微波等离子体 CVD（MPCVD）、热丝 CVD 等，目前 MPCVD 凭借其高纯度、高可控性，成为大规模制造高端金刚石热沉片的主流方法。