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想问下各位网友铝靶

2026-8-0
想问下各位网友铝靶
铝及铝合金是半导体芯片制造中历史最悠久、应用最成熟的互连材料之一,在130nm 及以上技术节点长期占据主流互连材料地位。不同下游应用场景对铝靶的金属纯度要求存在明确差异,其中超大规模集成电路芯片制造对铝靶纯度要求最为严苛,通常需达到 5N5(99.9995%)及以上,平板显示器用铝靶纯度要求相对略低,一般为 5N(99.999%)及以上。公司作为国内高纯铝靶行业龙头,已率先攻克 5N5 级超高纯铝提纯核心技术,实现对应原料及溅射靶材的规模化、稳定量产,与新疆众和、有研亿金等国内厂商共同占据国内 12 英寸晶圆产线铝靶的主要市场份额,成功打破海外厂商在高端铝靶领域的长期垄断。此外,铝钪溅射靶材是 5G6G 等新一代移动通信射频滤波器压电膜层的关键材料,目前有研亿金、长沙高创稀土等国内厂商已成功研制出纯度 3N5 级以上的铝钪溅射靶材,逐步具备进口替代能力,推动国内射频器件产业链的自主化发展。