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各位网友请教一下钨靶

2026-8-0
各位网友请教一下钨靶
钨及钨硅合金凭借低电阻率、高抗电迁移性、优异的高温稳定性与良好的界面结合性,成为半导体存储器制造的核心关键材料,主要承担两类功能:一是在晶体管结构中形成钨氮化钨导电薄膜,并以氮化钨作为原子级精度的阻挡层二是在字线互连中同时实现高效导电、高深宽比结构填充,实现 20nm 级通孔填充。超高纯钨靶材同时是 3D NAND 工艺中的核心薄膜种子层材料。半导体级超高纯钨及合金靶纯度需达到 5N 以上,且 Na、K 等关键有害杂质含量需控制在千万分之一以下水平,技术壁垒显著。