> 数据图表如何才能中国半导体设备真空系统类零部件市场规模（亿元）
2026-8-1公司处于测试验证阶段的磁悬浮涡轮分子泵、真空阀门属于气体液体真空系统类零部件中的真空系统类零部件，与质量流量控制器等流量控制系列产品均应用于刻蚀等设备反应腔的真空环境，起到获得、改善和维持反应腔真空环境的作用，需要满足抽气后的真空度、可靠性、稳定性、一致性等指标，技术难度高，国产化率低。根据 QY Research 统计数据，2024 年中国半导体设备气体液体真空系统类零部件市场规模达 265.84 亿元，其中真空系统类零部件市场规模达102.67 亿元，国产化率不足 10%，预计至 2030 年真空系统类零部件市场规模达 164.05 亿元，年均复合增长率达 8.12%。 
