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一起讨论下W2W 工艺流程

2026-9-3
一起讨论下W2W 工艺流程
3.4. W2W:CISNAND 提供成熟应用基本盘 在先进封装整个流程中,W2W 和 D2W 工艺均为必须项。W2W 主要用于中道 TSV 等工艺,由于减薄后的晶圆仅有几十微米,因此在减薄前,需要将晶圆放到厚玻璃硅片上作为支撑,防止减薄后的晶圆破碎。而 D2W 主要用于先进封装的凸点键合流程,将已经挑好的芯片(KGD)与晶圆键合。