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谁知道长江存储 Xtacking 通过金属互联通道 VIAs 进

2026-9-3
谁知道长江存储 Xtacking 通过金属互联通道 VIAs 进
3D NAND 是未来 W2W 混合键合的使用场景之一。随着后续 3D NAND 的层数不断提高,刻蚀机一次性从顶层打到底层的难度快速提升,因此需要W2W 混合键合,将两个较少层数的 NAND 直接贴合形成多层 NAND,如长江存储 Xtacking 等。