半导体测试设备(Automatic Test Equipment,ATE)主要用于检测芯片的电路功能、电性能参数及可靠性表现,是保障芯片良率和产品性能的重要环节。半导体测试设备主要包括测试机、探针台和分选机等,其中:测试机用于向芯片施加输入信号并采集输出信号,以实现对芯片功能和性能的检测探针台与分选机分别应用于晶圆检测和成品测试环节,实现被测晶圆芯片与测试机功能模块之间的连接。测试机是半导体测试设备的核心组成部分,相较于分选机和探针台应用环节更广,研发难度及单机价值量更高。按照被测芯片的功能差异,测试机主要可分为模拟测试机、SoC 测试机、存储器测试机及射频(RF)测试机四大类,其中,SoC 测试机主要面向系统级芯片测试模拟测试机则主要覆盖模拟及数模混合类芯片测试。