> 数据图表如何才能氟化液：PFPE/HFE切入设备端应用2026-9-1氟化液：PFPE/HFE切入设备端应用◆ 电子氟化液主要包括PFPE（全氟聚醚）冷却液和HFE（氢氟醚）清洗液，均切入半导体设备端。PFPE用于刻蚀、沉积、测试等设备温控，通过Chiller/TCU循环实现热量传导，保障腔体、静电卡盘和晶圆承载台温度稳定；HFE用于半导体设备部件、真空腔体、阀门、喷淋头、光学元件及精密电子清洗，承担低残留清洗、脱脂和材料兼容功能。与电子级HF、BOE等晶圆表面湿法材料不同，PFPE/HFE主要进入设备温控和设备部件清洗环节。图：PFPE/HFE切入半导体设备端，区别于HF/BOE晶圆湿法材料数据来源：Syensqo，东吴证券研究所22东吴证券综合其他
