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各位网友请教一下公司流量控制系列产品在半导体各前道工艺中的应用情况

2026-9-2
各位网友请教一下公司流量控制系列产品在半导体各前道工艺中的应用情况
2.3.1 流量控制系列产品流量控制系列是公司面向半导体设备领域的核心产品线,用于对气体、液体质量流量的高精度测量与精准控制,主要面向半导体刻蚀、薄膜沉积、清洗等晶圆制造前道工艺。