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想关注一下半导体级单晶硅炉长晶方式

2026-8-1
想关注一下半导体级单晶硅炉长晶方式
两种方式使用的设备均为单晶炉,由炉体、热场、磁场、控制装置等部件组成,其投资占硅片制备设备总投资的 25%。单晶炉主要是以进口设备为主,如德国 CGS 公司和美