> 数据图表我想了解一下先进节点单位良率面积成本快速上升2026-9-21） 经济性来看，晶体管密度由 2011 年的约 525 万个mm升至 2022 年的约 1.36 亿个mm,但进入先进节点后，密度增速已明显放缓。与此同时，接触栅极节距与金属节距由上世纪 70 年代的数千纳米缩至约 2030nm，微缩空间逼近物理极限，加之晶体管尺寸缩小带来的制造成本高企，性能提升成本下降的规律难以为继。2） 物理性来看，单芯粒面积受光罩极限约束，上限约 858mm（26mm33mm），高 NAEUV采用变形光学后更减半至约 429mm。此项约束作用于物理可行性在单次曝光条华创证券科技传媒
