> 数据图表想关注一下单极双极型静电卡盘工作原理2026-9-4技术路线沿吸附原理与电极结构双维度分化，库仑型占据主流。1）按吸附原理分库仑型与约翰逊-拉别克（J-R）型，二者在介电层性质、体电阻率、工作电压与吸附力上差异显著（见下表），其中，据 QYResearch 数据，库仑型为最大细分、占约 69%。2）按电极数量分单极型与双极型，单极型需等离子体启辉方能形成吸附回路，双极型两极自成回路、工艺稳定性更优，为多数半导体设备采用。华创证券科技传媒
