> 数据图表如何了解公司静电卡盘产品研发和产业化进展2026-9-42、静电卡盘已通过刻蚀设备厂商验证并小规模量产，验证进度处于国内领先梯队。公司自 2020 年起自主搭建静电卡盘技术及检测体系。截至 2026 年 6 月末，公司静电卡盘产品矩阵已覆盖刻蚀设备主流机型：8 英寸刻蚀机用 Monopolar 静电卡盘、12 英寸ICPCCP 刻蚀机用 Monopolar 静电卡盘均已通过客户验证并实现小规模量产12 英寸多区加热静电卡盘已完成开发并初步通过验证，较 2025 年末的交付进入客户测试再进一程，是后续放量的关键型号。技术指标方面，公司产品已覆盖 812 英寸，陶瓷厚度 0.810mm、使用温度-20200，主要指标已达到全球主流水平。华创证券科技传媒
