> 数据图表请问一下电子大宗气体在半导体制造中的应用2026-9-2电子气体是半导体制造的刚性消耗品，有望充分受益于下游晶圆厂扩产。电子气体在晶圆制造、光刻、刻蚀、离子注入、清洗等全流程中广泛应用，其纯度、洁净度与供应稳定性直接决定芯片良率与性能，有望充分受益于下游晶圆厂扩产。电子气体在半导体制造材料占比仅次于硅片，占晶圆制造成本的14%。电子气体分为电子大宗气体和电子特种气体。其中，电子大宗气体主要指满足电子半导体领域要求的高纯度和超高纯度大宗气体，包括氮气、氦气、氧气、氢气、氩气和二氧化碳六类。电子大宗气体贯穿半导体制造全流程，作为环境气、保护气、运载气及清洁气使用。例如氮气用于营造半导体生产过程中的超净气体环境氦气广泛应用在集成电路制造、半导体显示、低温超导、光纤通信、科研实验等领域氩气用于等离子蚀刻氢气用于化学气相沉积环节和光刻环节等。万联证券工业制造
