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我想了解一下国内重点工艺设备企业的进展

2026-9-2
我想了解一下国内重点工艺设备企业的进展
国内配套设备已从成孔扩展至金属化、光刻和检测。北方华创、汇成真空披露面向 TGV 的 PVD 产品,盛美上海、芯碁微装布局兼容玻璃的面板级设备。部分厂商已有设备交付,其他厂商仍以专用产品研发和客户测试为主,商业进度存在差异。