> 数据图表如何看待公司历史沿革2026-10-2历史沿革公司前身深圳中科飞测科技有限公司于 2014 年 12 月成立，2020 年改制为股份有限公司，2023 年于上交所科创板上市，围绕光学检测、大数据检测算法及自动化控制软件，向集成电路前道制程、先进封装等领域提供质量控制设备。公司于 2016 年推动首台无图形晶圆缺陷检测设备进入国内头部客户产线验证，2018 年承担国家科技重大专项 02专项，2020 年向国内领先芯片厂商批量出货，2022 年五大产品系列累计批量销售接近700 台，2024 年半导体量检测设备出货达 1000 台。2025 年，公司在上海张江成立第二总部，形成十三大系列设备及三大系列软件产品组合，覆盖光学、电子束及 X 光技术路线2026 年上半年，面向成熟制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备通过国内客户产线验证并实现批量销售，高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备已成功应用在国内头部存储客户产线，产品从早期验证逐步走向多技术路线布局与量产应用。国盛证券科技传媒
