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一起讨论下激光隐形切割(Stealth Dicing)内部改性层形成示意

2026-10-0
一起讨论下激光隐形切割(Stealth Dicing)内部改性层形成示意
域,使材料产生局部晶格结构变化,沿扫描路径形成连续的激光改性区域及初始内裂纹。随后,通过扩展裂纹的方式,使晶圆沿设计路径分离。